进口MKS流量控制器

③DeviceNet™，EtherCAT®或RS485通信

④嵌入式用户界面

⑤10µ英寸电抛光316L表面处理和金属密封，适用于高纯度应用

Baratron®压力传感器以高精度和高重复性测量独立于气体的绝对压力。精度被为读数的百分比，即使在刻度的低端也能得到准确的输出信号。这些高性能Baratron®电容压力计在环境温度下工作。它们以真空为参考，用于与气体无关的直接测量绝对压力。626D未加热绝对Baratron®电容压力计是最新的MKS基于模拟电容的高性能真空和压力传感器。它需要±15VDC输入电压，并提供与压力成线性关系的高电平0-10 VDC模拟输出信号。这些Baratron®压力传感器参考真空进行绝对压力测量。应用包括：真空炉、水果和蔬菜的冷冻干燥、气体激光器、汽车部件测试、瓶子涂层和真空蒸馏。这些压力传感器的压力传感器采用Inconel®和Incoloy®镍合金结构，使其能够在几乎任何化学环境（包括卤素、去离子水和蒸汽以及臭氧）中运行而不会损坏。

①0至10 VDC比例模拟输出，带15针D-sub连接器

②直接测量腔室总压力，不受气体类型或成分的影响

③为的工艺可重复性提供长期输出稳定性

④基本传感器的Inconel®和Incoloy®镍合金结构在几乎任何化学环境中都不会损坏

⑤高超压限制确保系统故障期间的可靠性

⑥以读数百分比，以实现最佳精度并提高工艺良率