精度（包括线性度）（基于实际校准）：高达±0,5%Rd plus±0,1%FS（N2/空气/O2）；
对于其他气体，增加转换不确定性；

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产品详情

技术参数

流量范围（可用的中间范围）：min.0…500毫升/分钟

Max.0…20 ln/min（基于N2）

压力范围：FF-M10：不可用/FF-M11：0…17 bar（a）

精度（包括线性度）（基于实际校准）：高达±0,5%Rd plus±0,1%FS（N2/空气/O2）；

对于其他气体，增加转换不确定性；

重复性：

流量传感器：<±0,2%Rd；

压力传感器：<±0,2%FS

减速比：高达1:1000

工作压力：max.16 bar g

22种气体以及这些气体的任何混合物的多气体/多量程嵌入式气体数据

响应时间（传感器）：<30 ms（T63）

3年内长期稳定性：<0,5%FS；则每年<0,2%FS

安装任何：位置，姿态灵敏度可忽略不计

温度灵敏度流量传感器：零00015%FS/ºC；量程0,03%Rd/ºC；

压力传感器：零0,16 mbar/ºC；量程0,05%Rd/ºC

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精度（包括线性度）（基于实际校准）：高达&#177;0,5%Rd plus&#177;0,1%FS（N2/空气/O2）；对于其他气体，增加转换不确定性；